Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
parallel-plate plasma-etching reactor — plazminis ėsdintuvas su lygiagrečiais elektrodais statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. parallel plate plasma etcher; parallel plate plasma etching reactor vok. Parallelelektroden Plasmaätzer, m rus. реактор с параллельными… … Radioelektronikos terminų žodynas
planar plasma-etching reactor — planarusis plazminis ėsdintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. planar plasma etcher; planar plasma etching reactor vok. Planarplasmaätzer, m rus. планарный реактор для плазменного травления, m pranc. réacteur planaire pour… … Radioelektronikos terminų žodynas
plasma-etching reactor — plazminis ėsdintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. plasma etcher; plasma etching reactor vok. Plasmaätzer, m; Plasmaätzreaktor, m rus. реактор для плазменного травления, m; установка для плазменного травления, f pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
radial-flow plasma-etching reactor — spinduliškas dujasrautis plazminis ėsdintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. radial flow plasma etching reactor vok. Plasmaätzer mit radialem Strom, m rus. реактор плазменного травления с радиальным потоком, m pranc.… … Radioelektronikos terminų žodynas
dry-etching reactor — sausasis ėsdintuvas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. dry etching reactor vok. Trockenätzreaktor, m rus. реактор сухого травления, m pranc. réacteur pour décapage à sec, m … Radioelektronikos terminų žodynas
barrel-reactor plasma etching — plazminis ėsdinimas cilindriniame reaktoriuje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. barrel reactor plasma etching vok. Plasmaätzen im Trommelreaktor, n rus. плазменное травление в цилиндрическом реакторе, n pranc. décapage par… … Radioelektronikos terminų žodynas
Parallelelektroden-Plasmaätzer — plazminis ėsdintuvas su lygiagrečiais elektrodais statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. parallel plate plasma etcher; parallel plate plasma etching reactor vok. Parallelelektroden Plasmaätzer, m rus. реактор с параллельными… … Radioelektronikos terminų žodynas
machine à décaper par plasma à plaques parallèles — plazminis ėsdintuvas su lygiagrečiais elektrodais statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. parallel plate plasma etcher; parallel plate plasma etching reactor vok. Parallelelektroden Plasmaätzer, m rus. реактор с параллельными… … Radioelektronikos terminų žodynas
parallel-plate plasma etcher — plazminis ėsdintuvas su lygiagrečiais elektrodais statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. parallel plate plasma etcher; parallel plate plasma etching reactor vok. Parallelelektroden Plasmaätzer, m rus. реактор с параллельными… … Radioelektronikos terminų žodynas
plazminis ėsdintuvas su lygiagrečiais elektrodais — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. parallel plate plasma etcher; parallel plate plasma etching reactor vok. Parallelelektroden Plasmaätzer, m rus. реактор с параллельными электродами для плазменного травления, m pranc. machine… … Radioelektronikos terminų žodynas
